半導体結晶引き上げ炉の熱場は、結晶引き上げの品質に影響を与える重要な要素の1つです。当社では繊維構造からスタートし、中空構造の炭素繊維を用意し、度重なるデータテストに基づいて特定の直径の炭素繊維を選定します。同時に黒鉛化触媒材も充填します。同じ温度の黒鉛化では、黒鉛化度はより高くなります。さらに、より均一な平置きニードリングプロセスを選択し、フェルトの密度と厚さの均一性と一貫性がより高くなります。したがって、この技術プロセスにより製造されたグラファイトフェルトは、優れた断熱性と保温性を有し、また優れた耐酸化性を備えています。バッチの一貫性は高いです。データ比較によれば、現在の断熱性能は国際トップレベルに達している。
| 名前 | 単位 | グラファイトソフトフェルト | 備考 | ||
| VLG-5/VLG-10 | VLGY-5/VLGY-10 | ||||
| 厚さ | mm | 5/10 | 5/10 | その他の仕様 | |
| 密度 | g/cm3 | 0.08～0.11 | 0.07～0.09 | ||
| 幅 | m | 1.3～1.6 | 1.3～1.6 | ||
| 破断強度 | メガパスカル | ≧0.3 | ≧0.2 | ||
| 炭素含有量 | % | ≥99.80 | ≥99.80 | ||
| 熱伝導率 | W/m・k | 1000℃ | ≤0.17 | ≤0.23 | |
| 1500℃ | ≤0.35 | ≤0.38 | |||
| 熱処理温度 | ℃ | ≥1800 | ≥1800 | ||
| 繊維脱落率 | % | ≤0.3 | ≤0.3 | ||
| 具体的な | 平方メートル/グラム | 3-7 | 3-7 | ||
| 灰分含有量 | ppm | ≤300 | ≤300 | ||
| 製品 | 熱伝導率 （1000℃） （W/m・k） | 密度 （g/cm3） | 空気アブレーション （600℃、1h） (%) |
| Naco VLG-10 ソフトフェルト | 0.17 | 0.1 | 6.21 |
| ナコ VLGY-10 ソフトフェルト | 0.23 | 0.08 | 9.95 |
| ドイツのSGLソフトフェルト | 0.25 | 0.1 | 10.12 |
| フランスのメルソンソフトフェルト | 0.25 | 0.08 | 6.32 |
| アメリカンモーガンソフトフェルト | 0.23 | 0.1 | 10.22 |
クライアント側で計測した実際のデータ
 |  |
 |  |
